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西湖大学突破了“冰雕”的局面三维微纳加工技术

在过去的两个月中,西湖大学的邱敏和他的研究小组先后在《纳米快报》,《纳米尺度》,《应用表面科学》等期刊上发表了一系列研究成果。

小至微米甚至纳米。

从精确定位到雕刻力的精确控制,再到使用“冰雕”,它们已经很容易了。

作为制造结构和加工设备的模具,一套“冰雕2.0”被用作制造模具。

三维微纳处理的目标是“晶圆进,设备出”。

该系统的原型正在出现。

2012年,邱敏回到瑞典皇家理工学院任教后不久,他开始了“冰雕”活动。

研究项目。

经过六年的努力,他和他的团队将“冰雕”变成了“冰雕”。

从纸上谈起变成现实,并完成了首个“冰雕”游戏的研发。

在中国的系统。

来到西湖大学后,邱敏在国家自然科学基金重大科研仪器开发项目(免费申请类)的支持下,竭尽全力开发功能更强大的“冰雕”。

系统2.0”。

他们希望改变传统电子束光刻的繁琐加工程序,并创建一个全过程集成和自动化的微纳米加工系统-从冰凝胶形成到模具加工,材料生长以及器件性能表征一口气。

复旦大学物理系系主任,超材料和超表面专家,周雷教授说,这项工作对于开发更多集成化和功能化的光电器件具有重要的现实意义。

“冰雕刻可以将光学前端的上部结构表面与广泛使用的光纤有机地结合在一起,这不仅为前者找到了合适的着陆平台,而且为后者带来了新的活力”。

他说。

目前,世界上只有两个冰雕实验室,一个在中国,一个在丹麦。

显然,这不是流行的研究方向,研发周期很长。

很难快速发表有关该主题的文章并获得高引用。

“但这是一种令人兴奋的新技术”。

邱敏说:“这种探索可能带来巨大的突破,或者可能没有任何突破,但这是基础研究的意义和乐趣。

“当我们扩大对“中国制造”背景的认识时,在从大制造国向强大制造国的过渡中,以微纳米加工为代表的超精密加工的探索和创新是中国的未来。

#39; s制造。

在邱敏团队发表的最新文章的最后,他们期盼着“冰雕”游戏的未来。

以非常科幻的方式毫无疑问,关于“冰雕”的未来研究将在未来进行。

将集中于传统“光刻”所不能达到的那些领域。

能力。

得益于水的独特生物相容性,希望“冰雕”能够与水结合。

可以实现生物样本上的光子波导或电子电路。

这将前所未有地提高人类对生物样品的干预能力,同时开辟了新的跨学科和研究方向。

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